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光纤耦合

光纤夹具光纤耦合精密位移台显微观察系统芯片温控台芯片吸附台相机光学平台

光纤夹具

Fiber 夹具

Fiber 夹具

Fiber 夹具

该夹具兼容SMF水平,垂直耦合以及FA水平,垂直耦合,一个夹具设计兼容日常芯片测试中的端面和光栅耦合场景。

气缸型FA夹具

Fiber 夹具

Fiber 夹具

气缸夹具为针对封装使用,该夹具具有稳定性高,在进行耦合点胶后使用气动松开FA避免FA产生位移。

精密位移台

手动六轴位移台

手动位移台使用KOHZU高精度位移台以及0.5um高精度微分头。


 XYZΘXΘYΘZ 六轴可调,XYZ行程:13mm,粗调10um,精调0.5um,ΘX,ΘY,ΘZ:6°;分辨率 0.02° 

自动六轴位移台

自动位移台使用KOHZU高精度位移台及高分辨五相步进电机,具备高精度,低震动特性。


XYZΘXΘYΘZ 6轴光学位移台,XYZ形程20mm,ΘX,ΘZ轴转动±5°,ΘY轴转动±4.5°,超级高精度。XYZ重复精度实际测量平均值AVE. 0.2μm。ΘXΘYΘZ轴重复精度实际测量平均值AVE0.0018°。

运动控制器

运动控制器

控制自动滑台精确位移,最大细分支持256,USB连接上位机,带配套软件,支持连续,点动以及位置索引三种模式运动。

观察系统

芯片观察系统

  • 观察系统分为垂直方向和水平方向,镜筒采用0.7-4.5X变倍,光源为环形光源(可选配侧向同轴点光源)镜筒支架采用XYZ三轴调节,形程为30mm,支架可以改装为倾斜方向。

金相物镜

金相物镜加装在观察系统,提高系统的放大倍率,成像质量显著提高,选配倍率有2X(WD=33mm),5X(WD=45mm),10X(WD=33mm),同时,对于有红外观察需求场景,可以提供红外镜头。

温控台

  • 高精度温控台,为芯片级别三温测试带来便捷,使用定制水冷取代大型水冷机,极大缩减占地面积。
  • 温控范围常规为0℃-120℃,可定制-20℃-160℃, 温度分辨率:<0.05℃,温度波动:<0.1℃,工作8000小时测温精度老化漂移<0.02℃ 
  • 软件采用RS232与上位机连接,软件功能丰富。

芯片吸附台

芯片放置台

  •  XY 可调13mm行程,Z行程4mm,10um精度,台面尺寸40mm*40mm,R轴旋转可调360° 。
  • 芯片放置台可升级为带有温度控制台。

真空泵

真空泵用于吸附芯片,保证芯片在测试过程中稳定,由于环境的震动会导致光耦合的波动,这就需要真空泵具有低噪音,低震动的特性,NITTO真空泵具有3L/min流量,噪声<20dB

相机

可见光相机

  • 用于光耦合观察芯片表面和Fiber角度调整
  • 该相机支持角度测量,自动寻边,U盘存储,强反光抑制,是应用在芯片耦合的最佳之选。

短波红外相机

  •  短波红外相机的应用已经从传统的SWIR相机扩展到VSWIR相机,这些新型相机能够同时接收可见光和短波红外光,进一步扩展了光通信的应用范围。  
  • 应用场景:测量光斑模场(替代传统的狭缝式光斑分析仪);观察红外波段光耦合进入波导情况等。
  • 接口:Camera Link Base
  • 分辨率636 (H) × 508 (V)
  • 传感器:FPA 636 × 508 | 25 µm | InGaAs
  • 传感器类型:InGaAs
  • 传感器尺寸:No standard size像元尺寸25 µm × 25 µm
  • Lens mounts: (available)C-Mount
  • 最大满帧帧率:100 fpsADC14 Bit缓存 (RAM)256 MByte 

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光学平台

阻尼光学平台

阻尼隔振平台利用固有频率低可以最大程度限制环境振动的影响


1. 固有频率:垂直方向和水平方向3~6Hz                        

2. 平面度:<0.02~0.05mm/m2                                          

3. 尺寸:支持各种尺寸定制                                                 

气浮光学平台

气浮光学平台隔振效果相较阻尼平台有巨大提升


1. 固有频率:垂直方向和水平方向<1.5Hz

2. 标配静音无油空气压缩机                         

3. 平面度:<0.02~0.05mm/2                      

4. 尺寸:支持各种尺寸定制                          

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