Excellent Quality & Prompt Response Photonics Assembly & Testing:
Excellent Quality & Prompt Response Photonics Assembly & Testing:
该夹具兼容SMF水平,垂直耦合以及FA水平,垂直耦合,一个夹具设计兼容日常芯片测试中的端面和光栅耦合场景。
气缸夹具为针对封装使用,该夹具具有稳定性高,在进行耦合点胶后使用气动松开FA避免FA产生位移。
手动位移台使用KOHZU高精度位移台以及0.5um高精度微分头。
XYZΘXΘYΘZ 六轴可调,XYZ行程:13mm,粗调10um,精调0.5um,ΘX,ΘY,ΘZ:6°;分辨率 0.02°
自动位移台使用KOHZU高精度位移台及高分辨五相步进电机,具备高精度,低震动特性。
XYZΘXΘYΘZ 6轴光学位移台,XYZ形程20mm,ΘX,ΘZ轴转动±5°,ΘY轴转动±4.5°,超级高精度。XYZ重复精度实际测量平均值AVE. 0.2μm。ΘXΘYΘZ轴重复精度实际测量平均值AVE0.0018°。
控制自动滑台精确位移,最大细分支持256,USB连接上位机,带配套软件,支持连续,点动以及位置索引三种模式运动。
金相物镜加装在观察系统,提高系统的放大倍率,成像质量显著提高,选配倍率有2X(WD=33mm),5X(WD=45mm),10X(WD=33mm),同时,对于有红外观察需求场景,可以提供红外镜头。
真空泵用于吸附芯片,保证芯片在测试过程中稳定,由于环境的震动会导致光耦合的波动,这就需要真空泵具有低噪音,低震动的特性,NITTO真空泵具有3L/min流量,噪声<20dB
阻尼隔振平台利用固有频率低可以最大程度限制环境振动的影响
1. 固有频率:垂直方向和水平方向3~6Hz
2. 平面度:<0.02~0.05mm/m2
3. 尺寸:支持各种尺寸定制
气浮光学平台隔振效果相较阻尼平台有巨大提升
1. 固有频率:垂直方向和水平方向<1.5Hz
2. 标配静音无油空气压缩机
3. 平面度:<0.02~0.05mm/2
4. 尺寸:支持各种尺寸定制
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